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El microscopio fue inventado por Zacharias Janssen en 1590
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en 1607 Anton van Leeuwenhoek presenta un microscopio con que se puede ver en mejor calidad que el de HH Janssen.
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En 1665 aparece en la obra de William Harvey sobre la circulación sanguínea al mirar al microscopio los capilares sanguíneos, y Robert Hooke publicó su obra Micrographia
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En 1665 Robert Hooke observó con un lente un delgado corte de corcho y notó que el material era poroso; contenía cavidades poco profundas a modo de celditas a las que llamó células. Se trataba de la primera observación de células muertas.
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Unos años más tarde, Marcello Malpighi, anatomista y biólogo italiano, observó células vivas. Fue el primero en estudiar tejidos vivos al microscopio.
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Luego de muchos avances tecnológicos, en el siglo XX se lograron los siguientes avances en el desarrollo del microscopio:
1902 Richard Adolf Zsigmondy inventa el ultramicroscopio. Este tipo de microscopio permite observar muestras con mejores resoluciones que las del microscopio óptico. -
August Köhler y Moritz von Rohr desarrollan el microscopio de luz ultravioleta.
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1913 Leitz empieza a comercializar el primer microscopio binocular plenamente funcional desarrollado por Felix Jentzsch.
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1931 Ernst Ruska, junto con el ingeniero Max Knoll construye el primer prototipo del microscopio electrónico de transmisión.
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1935 Frits Zernike inventa el microscopio de contraste de fases que permite observar muestras biológicas transparentes. En 1953 recibe el premio Nobel de Física por este invento.
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1937 Manfred von Ardenne inventa el microscopio electrónico de barrido.
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1955 George Nomarski desarrolla la microscopía de contraste de interferencia diferencial. Esta técnica es ampliamente utilizada para observar muestras biológicas con vida.
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1957 Marvin Minsky patenta el microscopio confocal.
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1981 Gerd Binnig y Heinrich Rohrer inventan el microscopio de efecto túnel que permite observar superfícies a escalas atómicas. En 1986 recibieron el premio Nobel de Física junto con Ernst Ruska.
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1982 La empresa Carl Zeiss empieza a comercializar el primer microscopio con focal láser de barrido.