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El microscopio fue inventado por Zacharias Janssen en 1590
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En 1607 Anton Van Leeuwenhoek presenta un microscopio con que se ve con mejor calidad.
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En 1665 Robert Hook observó con un lente un delgado corte de corcho y notó que el material era poroso; contenía cavidades poco profundas. Se trataba de la primera observación de células muertas. Unos años después, Marcello Malpighi, obsrevó células vivas.
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En 1665 aparece la obra de William Harvey sobre la circulación sanguínea al mirar al microscopio los capilares sanguíneos.
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Luego de muchos avances tecnológicos, en el siglo xx se lo lograron muchos avances del desarrollo del microscopio.
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Richard Adolf Zsigmondy inventa el ultramicroscopio. Este tipo de microscopio permite observar muestras con mejores resoluciones que las del microscopio óptico
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August Köhler y Moritz Von Rohr desarrollan el microscopio de luz ultra violeta
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Leitz empieza a comercializar el primer microscopio binocular plenamente funcional desarrollado por Felix Jentzsch.
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Ernst Ruska, junto con el ingeniero Max Knoll construye el primer prototipo del microscopio electrónico de transmisión.
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Frits Zernike inventa el microscopio de contraste de fases que permite observar muestras biológicas transparentes. En 1953 recibe el premio Nobel de Física por este invento.
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Manfred Von Ardenne inventa el microscopio electrónico de barrido.
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George Nomarski desarrolla la microscopía de contraste de interferencia diferencial. Esta técnica es ampliamente utilizada para observar muestras biológicas de la vida.
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Marvin Minsky patenta el microscopio confocal.
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Gerd Binnig y Heinrich Rohrer inventan el microscopio de efecto túnel que permite observar superficies a escala atómicas. En 1986 recibieron el premio Nobel de Física junto con Ernst Ruska.
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La empresa Carl Zeiss empieza a comercializar el primer microscopio con focal láser de barrido.