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Paloma de madera de Arquitas de Tarento, volaba mediante vapor o aire comprimido.
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Ctesibio desarrolló relojes de agua y otros dispositivos hidráulicos.
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Herón de Alejandría escribió sobre dispositivos accionados por agua, peso y vapor.
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Hermanos Banu Musa describen un centenar de mecanismos y autómatas inspirados por Herón de Alejandría, Filón de Bizancio, antigua Persia, China e India y otros muchos como invenciones propias.
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Al-Jazari, "padre de la robótica", diseña complejos autómatas operados por agua, como pavos reales en movimiento y sirvientes mecánicos. Además, con su obre maestra "El Libro del Conocimiento de Ingeniosos Dispositivos Mecánicos" detalló varios autómatas.
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Obras hidráulicas en la Villa d’Este, incluyendo fuentes musicales, figuras móviles y decoraciones flotantes. Leonardo da Vinci diseñó autómatas, como un león mecánico. Juanelo Turriano creó un autómata monje capaz de caminar y rezar. Se crean los "nefs" (barcos ornamentales mecánicos) en mesas cortesanas de Europa central.
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Jacques de Vaucanson, creo “El Flautista”, luego “El Tamborilero” (1738) y el “Pato digestivo”, autómatas musicales y biológicos complejos
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Se remontan a las maquinas electromecánicas.
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El matemático ruso Andréi Márkov formalizó la cadena de Markov, donde la ocurrencia de cada evento depende con una cierta probabilidad del evento anterior. Posteriormente usada en autómatas finitos.
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“El Ajedrecista” de Leonardo Torres Quevedo, primer autómata capaz de jugar ajedrez realmente (final rey y torre contra rey)
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La primera aproximación formal de los autómatas finitos.
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Se desarrollan propiedades básicas, como la interpretación de lenguajes regulares y su equivalencia en las expresiones regulares.
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Concepto desarrollado por los informáticos teóricos Michael O. Rabin y Dana Scott.
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Con el sistema operativo Unix, los autómatas finitos usan expresiones regulares para fines prácticos, como los comandos lex, ed y grep.