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Von Neuman estudia la posibilidad de crear sistemas que se auto-reproducen como una forma de reducir costes.
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Se descubre el microscopio de barrido efecto túnel (STM), por Gerd Binning y Heinrich Rohrer.
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Es la más corriente y en esta técnica, el uso de un haz de electrones imprime un patrón, usualmente sobre una resina de polímero que se opone tal como PMMA.
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Sumo Lijima, de la sede NEC en Japón, descubre los naotubos de carbono.
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Los sistemas de litografía de haz de electrones utilizados en aplicaciones comerciales son sistemas dedicados a la escritura de haces electrónicos que son muy caros
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El equipo del Weizmann Institute of Science en Israel crea las primeras nanoestructuras con propiedades sorprendentes. Esto genera un interés internacional en la nanomedicina.
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Micrograbado o micromecanizado en volumen (Bulk micromachining) Se trata de modificar el substrato de silicio.
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La litografía de rayos X es un proceso utilizado en la industria electrónica para eliminar selectivamente partes de una película delgada.
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La fabricación de rayos láseres moleculares para aplicaciones médicas y así poder disfrazar las nanocápsulas.
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Nadrian Seeman y varios colegas de la Universidad de Nueva York crean varios dispositivos a nanoescala con un montaje robótico de ADN. Se trata de un proceso de creación de estructuras de ADN 3D utilizando secuencias sintéticas de cristales de ADN
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Investigadores de la Universidad de Stanford desarrollan el primer equipo de nanotubos de carbono.
